Сканиращият електронен микроскоп (СЕМ) сканира с фокусиран електронен лъч. Това позволява да се получи изображение с висока разделителна способност от повърхността на пробата.
Електроните взаимодействат с атомите на материала и генерират сигнали, съдържащи информация за релефа и състава на повърхността на материала.